Optical Tables - series

光學平台系統測試報告


當精密量測的設備與系統運作時,例如高倍率顯微鏡、超快雷射光學系統、全像實驗(全息實驗)、半導體檢測設備、干涉儀系統及原子力顯微鏡(AFM)…等,環境震動會造成量測的誤差或實驗的失敗,OPMount光學桌能有效隔絕環境震動的影響。 

目前常見光學桌的材質有光崗岩、不鏽鋼、鐵板,內層的結構有米字形、井字型,這些材料有各自的優勢,,這些結構也伴隨的產品的重量越來越重,某些場合如研究室或無塵室就必須考慮地面的承重性,OPMount採用蜂巢式結構,在震動抑制效果與桌面重量上取得良好的平衡,大幅度降低桌面重量同時提供良好的桌面抗壓與桌板剛性。

市售的光學桌採用單一氣囊或是雙重氣囊來充當阻尼系統,此方案只能對於垂直地面的震動有效忽略了水平的震動的影響,此問題會影響光學桌的抑震效果,為了解決這個問題OPMount在LTA 與LTB 桌腳結構中增加單擺結構來抑制水平方向的震動。

 

震動阻尼

OPMount 所有的光學桌出廠前都會進行震動的測試,已確保客戶的桌子都能有震動抑制的功能,我們使用敲擊槌與感測器來量測桌面震動,透過頻譜分析儀進行數據的採集與計算(註1)。同時也透過安置在地面與桌面的感應器來了解整體設備對震動抑制的效果(註2)。

• 頻譜分析儀(註1)

 

• 感應器(註2)


 

 


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